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Hyfast系列 5-150W飛秒激光器

Hyfast系列 5-150W飛秒激光器

產品特點 1）飛秒級脈寬；
2）1030/515/343nm 三種波長；
3）mJ級單脈沖能量；
4）近衍射極限光束質量；
5）穩定性高、可靠性高。

產品應用

1）切割，鉆孔和劃線（玻璃，硅，陶瓷，晶圓，柔性電路）；

2）薄膜圖案（金屬，薄膜太陽能電池）；

3）打標（玻璃，硅，陶瓷，金屬，塑料）。

產品參數

Hyfast 20 技術參數

序號

參數

規格

單位

備注

1

型號

IR

GRN

UV



2

中心波長

1030±3

515±3

343±3

nm


3

脈寬

500-3000

fs

可定制

4

最大平均功率

20

10

3

W


5

重復頻率

25-3000

800-3000

800-3000

kHz

可調

6

最大單脈沖能量

200

13

4

μJ


7

光束質量 M2

≤1.3



8

光斑圓度

≥90

%


9

光斑直徑

1-2

mm

1/e2

10

脈沖串

1-20



11

偏振態

線偏振


水平/垂直可選

12

發散角

≤1

mard


13

功率穩定性

≤1

%

RMS/24h

14

能量穩定性

≤1

%

RMS/24h

15

激光器冷卻要求

20.5±0.1

℃

蒸餾水

16

指向性

＜35

μrad/℃


17

工作模式

內控；分頻；外控：Trigger/Gate



18

環境溫度

17-27

℃


19

環境濕度

＜60

%

非冷凝

Hyfast 50 技術參數

序號

參數

規格

單位

備注

1

型號

IR

GRN

UV



2

中心波長

1030±3

515±3

343±3

nm


3

脈寬

500-3000

fs

可定制

4

最大平均功率

50

20

10

W


5

重復頻率

50-3000

800-3000

800-3000

kHz

可調

6

最大單脈沖能量

1000

25

13

μJ


7

光束質量 M2

≤1.3



8

光斑圓度

≥90

%


9

光斑直徑

1.5-3.5

mm

1/e2

10

脈沖串

1-20



11

偏振態

線偏振


水平/垂直可選

12

發散角

≤1

mard


13

功率穩定性

≤1

%

RMS/24h

14

能量穩定性

≤1

%

RMS/24h

15

激光器冷卻要求

20.5±0.1

℃

蒸餾水

16

指向性

＜35

μrad/℃


17

工作模式

內控；分頻；外控：Trigger/Gate



18

環境溫度

17-27

℃


19

環境濕度

＜60% (非冷凝)

%

非冷凝

Hyfast 100 技術參數

序號

參數

規格

單位

備注

1

型號

IR

GRN

UV



2

中心波長

1030±3

515±3

343±3

nm


3

脈寬

500-3000

fs

可定制

4

最大平均功率

150

55

30

W


5

重復頻率

100-3000

800-3000

800-3000

kHz

可調

6

最大單脈沖能量

1000

68

38

μJ


7

光束質量 M2

≤1.3



8

光斑圓度

≥90

%


9

光斑直徑

3-5

mm

1/e2

10

脈沖串

1-20



11

偏振態

線偏振


水平/垂直可選

12

發散角

≤1

mard


13

功率穩定性

≤1

%

RMS/24h

14

能量穩定性

≤1

%

RMS/24h

15

激光器冷卻要求

20.5±0.1

℃

蒸餾水

16

指向性

＜35

μrad/℃


17

工作模式

內控；分頻；外控：Trigger/Gate



18

環境溫度

17-27

℃


19

環境濕度

＜60%

%

非冷凝


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