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大族半導體榮獲兩項科技進步獎

作者:大族激光

大族半導體憑借卓越的技術(shù)創(chuàng)新和深厚的行業(yè)實力,榮獲了2022年度“廣東省科技進步獎”一等獎及“深圳市科技進步獎”二等獎。這雙重榮譽不僅彰顯了大族半導體在科技創(chuàng)新領(lǐng)域的杰出貢獻,更是對公司品牌影響力及整體實力的雙重認可,標志著大族半導體在行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)先地位和持續(xù)發(fā)展的強勁勢頭。


2022年度廣東省科技進步獎一等獎


“廣東省科學技術(shù)獎”由省科學技術(shù)廳主辦評選,主要授予為促進科技進步和經(jīng)濟社會發(fā)展做出突出貢獻的個人或組織,是廣東省在科技成果獎勵方面的最高榮譽。


2023年5月,由深圳市大族半導體裝備科技有限公司、北京理工大學珠海學院、廣州國顯科技有限公司、北京理工大學、中國船舶集團有限公司第七〇七研究所聯(lián)合申報的“絕緣體材料飛秒激光電子密度調(diào)控加工技術(shù)、裝備及應(yīng)用”項目,榮獲2022年度“廣東省科技進步獎”一等獎。


飛秒激光強化玻璃蝕刻通孔設(shè)備

示例機型:DSI-G-STC-1001-A


01應(yīng)用領(lǐng)域

飛秒激光強化玻璃蝕刻通孔設(shè)備(FLEE-TGV)可以實現(xiàn)各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備,在先進封裝、顯示制造、消費電子、生命科學等領(lǐng)城有巨大的應(yīng)用潛力。


02主要特點

◆ 靈活的尺寸兼容性,300mm以下全尺寸兼容;

◆ 采用飛秒激光技術(shù),高效、高品質(zhì)加工;

◆ 自主研發(fā)的加工和控制系統(tǒng);

◆ 配備高精度的晶圓自動校正系統(tǒng);

◆ 全自動無人值守;

◆ 擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)。


03主要參數(shù)

04實例效果


2022年度深圳市科技進步獎二等獎


“深圳市科學技術(shù)獎”是由深圳人民政府設(shè)立的科技成果獎勵方面的最高獎項,授予為推動科技進步和經(jīng)濟社會發(fā)展做出突出貢獻的組織和個人,是企業(yè)科技創(chuàng)新能力的硬指標。


2023年6月,由深圳市大族半導體裝備科技有限公司、中國科學院深圳先進技術(shù)研究院、深圳先進電子材料國際創(chuàng)新研究院、深圳市化訊半導體材料有限公司共同申報的“集成電路先進封裝臨時鍵合材料及裝備”項目,榮獲2022年度“深圳市科技進步獎”二等獎。


全自動激光解鍵合設(shè)備

示例機型:DSI-S-DB661


01應(yīng)用領(lǐng)域

適用于2.5D/3DIC扇出型晶圓級/面板級封裝,Ⅲ-V族半導體、SiC、GaN等超薄器件制備。

02主要特點

◆ 激光高頻快速掃描,無熱效應(yīng),屬于"冷"加工;

◆ 自研光斑整形技術(shù),配置光斑質(zhì)量監(jiān)控與反饋系統(tǒng);

◆ 激光穩(wěn)定加工,配置能量監(jiān)控與補償系統(tǒng);

◆ 激光配合特殊剝離涂層,可搭配市面多種膠材

◆ Carrier無應(yīng)力分離,可實現(xiàn)回收再利用;

◆ 化學濕法清洗,藥水自動補液、過濾后回收利用。


03主要參數(shù)

04實例效果


大族半導體憑借卓越的自研實力屢獲殊榮,這些榮譽的背后凝聚著堅定的研發(fā)創(chuàng)新精神、敏銳的市場需求洞察能力和對客戶滿意度的執(zhí)著追求。大族半導體滿懷感恩之心,感謝國家和政府對半導體裝備企業(yè)的支持和鼓勵,同時展望未來,我們將依托深厚的技術(shù)底蘊,不斷追求卓越創(chuàng)新,堅定地向集成電路裝備制造領(lǐng)域標桿企業(yè)的目標邁進,助力創(chuàng)造行業(yè)新價值。



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