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緊湊型涂膠顯影機 CD06-XS1C1D1A

緊湊型涂膠顯影機 CD06-XS1C1D1A

產品特點 1占地小、穩定性高、操作與維護方便；
2. 易于操作，界面友好；
3. 保養維護方便。

產品應用

應用范圍：

化合物半導體、功率器件、MEMS、射頻集成電路、LED、科研項目、光學器件


產品參數

片盒數量2CS
wafer 類型圓片
wafer 尺寸（mm）50-150
產能（WPH）50
襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝g-line、i- line、PI


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