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緊湊型涂膠顯影機(jī) CD06-XS1C1D1A

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產(chǎn)品特點(diǎn) 1占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護(hù)方便；
2. 易于操作，界面友好；
3. 保養(yǎng)維護(hù)方便。

產(chǎn)品應(yīng)用

應(yīng)用范圍：

化合物半導(dǎo)體、功率器件、MEMS、射頻集成電路、LED、科研項(xiàng)目、光學(xué)器件


產(chǎn)品參數(shù)

片盒數(shù)量2CS
wafer 類型圓片
wafer 尺寸（mm）50-150
產(chǎn)能（WPH）50
襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝g-line、i- line、PI


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